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半導体試験装置（テスタ）とは
半導体テスタとは、半導体デバイスに電気信号などを与え、出力される信号を期待値と比較することで、設計仕様通りに動作するかどうかを検査する装置です。ATE（Automated Test Equipment）ともよばれています。
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ウェーハプローバとは
ウェーハプローバは、半導体の開発・製造工程において、ウェーハの電気的検査の際に使用する装置です。
電気的検査では、ウェーハ上の個々のデバイスに、測定器やテスタからテスト信号をプローブ針やプローブカードを介して与え、デバイスからの応答信号を戻します。
