Probe Card

プローブカード

半導体製造のウェーハ検査 工程にお いて、ウェーハ上に形成されたIC (半導体集積回路)の良否判定をおこなうために用いる検査器具です。
M JC のプローブカード は 、 高 い 精 度 と 品 質 で 、様々なテスト環境のご要望にお応えします。

Category

  • Advanced Probe Card

  • Cantilever Type Probe Card

Advanced Probe Card

  • U-Probe

    独自のMEMS技術を応用したMEMSプローブ「マイクロカンチレバー」と、「薄膜多層配線基板」の製造技術を用いたプローブカードです。

  • Vertical-Probe

    垂直型ニードルタイプのプローブカードです。

  • SP-Probe

    垂直型スプリングタイプのプローブカードです。

  • MEMS-SP

    MEMSプローブを使用した垂直型スプリングタイプのプローブカードです。

Cantilever Type Probe Card

Technical Column

技術の紹介

  • プローブカードとは

    プローブカードとは、LSI(半導体集積回路)製造のウェーハ検査工程において、シリコンウェーハ上に形成されたLSIチップの電気的検査に用いられる器具です。

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